CVD/PECVD氣相沉積爐簡(jiǎn)介
CVD/PECVD氣相沉積爐,采用等離子體化學(xué)氣相沉積技術(shù),為各種金屬、半導(dǎo)體、絕緣體等材料提供卓越的薄膜沉積解決方案,廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域涵蓋微電子、光電、平板顯示、儲(chǔ)能等多個(gè)行業(yè)。
CVD/PECVD氣相沉積爐特點(diǎn)
高溫極限:達(dá)到1200℃(通過(guò)HRE電阻絲加熱),滿足高溫沉積需求。
智能控制:配備50段可編程自動(dòng)控制系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)控制。
安全防護(hù):具備超溫保護(hù)和漏電自動(dòng)斷電功能,確保操作安全。
cvd氣相沉積
高效散熱:雙層風(fēng)冷結(jié)構(gòu)和50℃以下表面溫度,保障設(shè)備穩(wěn)定運(yùn)行。
卓越保溫:爐膛采用日本技術(shù)真空吸附成型的氧化鋁多晶纖維,保溫效果出眾。
高品質(zhì)密封:采用304不銹鋼KF快卸密封法蘭,確保工藝過(guò)程的密封性。
快速升溫:升溫速率不超過(guò)20℃/分,提高生產(chǎn)效率。
精準(zhǔn)控溫:控溫精度達(dá)到±1℃,確保薄膜質(zhì)量。
高沉積速率:射頻輝光技術(shù)使沉積速率高達(dá)10?/S,大幅提升生產(chǎn)效率。
pecvd氣相沉積爐
大面積均勻性:通過(guò)多點(diǎn)射頻饋入技術(shù)和特殊氣路分布,實(shí)現(xiàn)薄膜均勻性8%的優(yōu)異指標(biāo)。
高一致性:遵循半導(dǎo)體行業(yè)設(shè)計(jì)理念,基片間偏差低于2%,確保產(chǎn)品質(zhì)量一致性。
工藝穩(wěn)定:設(shè)備高度穩(wěn)定,保證工藝的連續(xù)性和穩(wěn)定性。
高效真空系統(tǒng):標(biāo)配直連式真空泵,極限真空度可達(dá)10Pa,確保高質(zhì)量沉積環(huán)境。
精準(zhǔn)流量控制:標(biāo)配三路質(zhì)量流量計(jì),實(shí)現(xiàn)氣體流量的精確控制。
強(qiáng)大射頻電源:等離子射頻電源功率高達(dá)500W,輸出頻率穩(wěn)定在13.56MHz±0.005%,適應(yīng)不同工藝需求。
pecvd
可選配件
高端真空系統(tǒng):根據(jù)客戶需求,提供最高真空度可達(dá)7x10-4Pa的分子泵真空系統(tǒng)。
混氣系統(tǒng):提供混氣系統(tǒng)及質(zhì)量流量計(jì),滿足復(fù)雜氣體混合和流量控制需求。
高清觸控屏:可選高清觸控屏,實(shí)現(xiàn)更直觀、便捷的操作體驗(yàn)。
技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)品名稱 | CVD化學(xué)氣相沉積系統(tǒng) |
產(chǎn)品型號(hào) | BR-CVD/PECVD |
滑道 | 帶滑道,可滑動(dòng)爐膛,實(shí)現(xiàn)快速升溫或冷卻功能 |
加熱區(qū)長(zhǎng)度 | 400mm 單溫區(qū)/雙溫區(qū) |
爐管尺寸 | 直徑60x1200mm 外徑x長(zhǎng) |
爐管材質(zhì) | 高純石英管 |
工作溫度 | ≤1100℃ |
溫控系統(tǒng) | 人工智能PID儀表,自動(dòng)控制溫度 |
溫控精度 | ±1℃ (具有超溫及斷偶報(bào)警功能) |
加熱速率 | 建議 0~10℃/min |
加熱元件 | 高品質(zhì)電阻絲 |
真空系統(tǒng) | |
額定電壓 | 單相 220V 50Hz |
可通氣體 | 氮?dú)?、氬氣等惰性氣體 |
測(cè)溫元件 | 熱電偶測(cè)溫 |
殼體結(jié)構(gòu) | 雙層殼體結(jié)構(gòu)帶風(fēng)冷系統(tǒng) |
真空法蘭 | 帶有進(jìn)氣口,另一端帶控壓閥,氣動(dòng)泄壓閥和放氣閥。 |
供氣系統(tǒng) | 四路精密質(zhì)子流量計(jì),通過(guò)觸屏來(lái)調(diào)節(jié)氣體流量 |
真空系統(tǒng) | 旋片泵,真空度在空爐冷態(tài)可達(dá)1pa, 真空計(jì):進(jìn)口數(shù)顯真空計(jì)實(shí)時(shí)顯示真空度,精度高。 |
氣體定量系統(tǒng) | 整體可以控制壓力范圍-20kpa到20kpa(相對(duì)壓力) |
額定電壓 | 單相 220V 50Hz |
射頻電源(僅PECVD) | |
信號(hào)頻率 | 13.56 MHz±0.005% |
功率輸出范圍 | 500W |
最大反射功率 | 500W |
射頻輸出接口 | 50Ω,N-type,female |
功率穩(wěn)定度 | ±0.1% |
諧波分量 | ≤-50dbc |
供電電壓 | 單相交流(187V-253V) 頻率50/60HZ |
整機(jī)效率 | >=70% |
功率因素 | >=90% |
冷卻方式 | 強(qiáng)制風(fēng)冷 |
型號(hào) | 爐管直徑x加熱區(qū)長(zhǎng)度 | 爐管長(zhǎng)度(mm) | 功率(kW) | 最高溫度 | 氣體控制 | 真空度 |
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BR-CVD-60 | φ60×400mm | 1200 | 3 | 1200℃ | 3路 | 10Pa/7x10-3Pa |
BR-CVD-80 | φ80×400mm | 1200 | 4 | 1200℃ | 3路 | 10Pa/7x10-3Pa |
BR-CVD-100 | φ80×400mm | 1200 | 6 | 1200℃ | 3路 | 10Pa/7x10-3Pa |
型號(hào) | 爐管直徑x加熱區(qū)長(zhǎng)度 | 功率(kW) | 最高溫度 | 頻率 | 功率 | 氣體控制 | 真空度 |
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BR-PECVD-60 | φ60×450mm | 4 | 1200℃ | 13.56MHz±0.005% | 300-500W | 3路 | 10Pa/7x10-3Pa |
BR-PECVD-80 | φ80×450mm | 5 | 1200℃ | 3路 | 10Pa/7x10-3Pa | ||
BR-PECVD-100 | φ100×450mm | 7 | 1200℃ | 3路 | 10Pa/7x10-3Pa |