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CVD/PECVD氣相沉積爐

CVD/PECVD氣相沉積爐

博納熱CVD/PECVD氣相沉積爐,采用等離子體化學(xué)氣相沉積技術(shù),具備卓越性能,可高質(zhì)量沉積金屬、半導(dǎo)體、絕緣體等材料的薄膜,廣泛應(yīng)用于微電子、光電等領(lǐng)域。

聯(lián)系電話:16628751252
產(chǎn)品詳情

CVD/PECVD氣相沉積爐簡(jiǎn)介

CVD/PECVD氣相沉積爐,采用等離子體化學(xué)氣相沉積技術(shù),為各種金屬、半導(dǎo)體、絕緣體等材料提供卓越的薄膜沉積解決方案,廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域涵蓋微電子、光電、平板顯示、儲(chǔ)能等多個(gè)行業(yè)。

CVD/PECVD氣相沉積爐特點(diǎn)

高溫極限:達(dá)到1200℃(通過(guò)HRE電阻絲加熱),滿足高溫沉積需求。

智能控制:配備50段可編程自動(dòng)控制系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)控制。

安全防護(hù):具備超溫保護(hù)和漏電自動(dòng)斷電功能,確保操作安全。

cvd氣相沉積

氣相沉積cvd

高效散熱:雙層風(fēng)冷結(jié)構(gòu)和50℃以下表面溫度,保障設(shè)備穩(wěn)定運(yùn)行。

卓越保溫:爐膛采用日本技術(shù)真空吸附成型的氧化鋁多晶纖維,保溫效果出眾。

高品質(zhì)密封:采用304不銹鋼KF快卸密封法蘭,確保工藝過(guò)程的密封性。

快速升溫:升溫速率不超過(guò)20℃/分,提高生產(chǎn)效率。

精準(zhǔn)控溫:控溫精度達(dá)到±1℃,確保薄膜質(zhì)量。

高沉積速率:射頻輝光技術(shù)使沉積速率高達(dá)10?/S,大幅提升生產(chǎn)效率。

pecvd氣相沉積爐

氣相沉積pecvd

大面積均勻性:通過(guò)多點(diǎn)射頻饋入技術(shù)和特殊氣路分布,實(shí)現(xiàn)薄膜均勻性8%的優(yōu)異指標(biāo)。

高一致性:遵循半導(dǎo)體行業(yè)設(shè)計(jì)理念,基片間偏差低于2%,確保產(chǎn)品質(zhì)量一致性。

工藝穩(wěn)定:設(shè)備高度穩(wěn)定,保證工藝的連續(xù)性和穩(wěn)定性。

高效真空系統(tǒng):標(biāo)配直連式真空泵,極限真空度可達(dá)10Pa,確保高質(zhì)量沉積環(huán)境。

精準(zhǔn)流量控制:標(biāo)配三路質(zhì)量流量計(jì),實(shí)現(xiàn)氣體流量的精確控制。

強(qiáng)大射頻電源:等離子射頻電源功率高達(dá)500W,輸出頻率穩(wěn)定在13.56MHz±0.005%,適應(yīng)不同工藝需求。

pecvd

pecvd氣相沉積爐(上海seo)

可選配件

高端真空系統(tǒng):根據(jù)客戶需求,提供最高真空度可達(dá)7x10-4Pa的分子泵真空系統(tǒng)。

混氣系統(tǒng):提供混氣系統(tǒng)及質(zhì)量流量計(jì),滿足復(fù)雜氣體混合和流量控制需求。

高清觸控屏:可選高清觸控屏,實(shí)現(xiàn)更直觀、便捷的操作體驗(yàn)。

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品名稱CVD化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)
產(chǎn)品型號(hào)BR-CVD/PECVD
滑道帶滑道,可滑動(dòng)爐膛,實(shí)現(xiàn)快速升溫或冷卻功能
加熱區(qū)長(zhǎng)度400mm  單溫區(qū)/雙溫區(qū)
爐管尺寸直徑60x1200mm 外徑x長(zhǎng)
爐管材質(zhì)高純石英管
工作溫度≤1100℃
溫控系統(tǒng)人工智能PID儀表,自動(dòng)控制溫度
溫控精度±1℃ (具有超溫及斷偶報(bào)警功能)
加熱速率建議 0~10℃/min
加熱元件高品質(zhì)電阻絲
真空系統(tǒng)
額定電壓單相 220V 50Hz
可通氣體氮?dú)?、氬氣等惰性氣體
測(cè)溫元件熱電偶測(cè)溫
殼體結(jié)構(gòu)雙層殼體結(jié)構(gòu)帶風(fēng)冷系統(tǒng)
真空法蘭帶有進(jìn)氣口,另一端帶控壓閥,氣動(dòng)泄壓閥和放氣閥。
供氣系統(tǒng)四路精密質(zhì)子流量計(jì),通過(guò)觸屏來(lái)調(diào)節(jié)氣體流量
真空系統(tǒng)旋片泵,真空度在空爐冷態(tài)可達(dá)1pa, 真空計(jì):進(jìn)口數(shù)顯真空計(jì)實(shí)時(shí)顯示真空度,精度高。
氣體定量系統(tǒng)整體可以控制壓力范圍-20kpa到20kpa(相對(duì)壓力)
額定電壓單相 220V 50Hz
射頻電源(僅PECVD)
信號(hào)頻率13.56 MHz±0.005%
功率輸出范圍500W
最大反射功率500W
射頻輸出接口50Ω,N-type,female
功率穩(wěn)定度±0.1%
諧波分量≤-50dbc
供電電壓單相交流(187V-253V) 頻率50/60HZ
整機(jī)效率>=70%
功率因素>=90%
冷卻方式強(qiáng)制風(fēng)冷
型號(hào)爐管直徑x加熱區(qū)長(zhǎng)度爐管長(zhǎng)度(mm)功率(kW)最高溫度氣體控制真空度
BR-CVD-60φ60×400mm120031200℃3路10Pa/7x10-3Pa
BR-CVD-80φ80×400mm120041200℃3路10Pa/7x10-3Pa
BR-CVD-100φ80×400mm120061200℃3路10Pa/7x10-3Pa
型號(hào)爐管直徑x加熱區(qū)長(zhǎng)度功率(kW)最高溫度頻率功率氣體控制真空度
BR-PECVD-60φ60×450mm41200℃13.56MHz±0.005%300-500W3路10Pa/7x10-3Pa
BR-PECVD-80φ80×450mm51200℃3路10Pa/7x10-3Pa
BR-PECVD-100φ100×450mm71200℃3路10Pa/7x10-3Pa

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